本系於民國七十六年八月成立，目前大學部學生約為256人。碩士班成立於民國八十二年，目前有研究生60人。博士班於民國八十九年成立，目前有博士生31人。民國九十八年教育部核准成立"中部科學園區碩士在職專班(奈米電子與光電能源)"，招收碩專班學生30人 。

本系位於中興大學校區理學大樓，教學實驗室計有普通物理實驗室、基礎物理實驗室、近代物理實驗室、應用電子學實驗室、固態物理實驗室、光學實驗室及計算物理實驗室。研究實驗室目前有紅外線、超導體、磁性物理、非晶態物理、低溫高磁、半導體物理、奈米技術等實驗室及計算物理實驗室。

本系設有圖書館。國科會中區物理圖書中心亦設在本系，以服務中部地區各大專院校。